随着芯片制程不断逼近物理极限,摩尔定律的延续将更依赖于系统级优化和工艺革新。基于先进封装技术的芯粒(Chiplet)系统是除晶体管尺寸微缩之外,获取高性能芯片的另一个重要途径。
作为电子束量测检测领域的先行者、领跑者,东方晶源始终坚持自主研发,不断深化研发投入、加速技术创新步伐,致力于为客户带来更加卓越的产品。
良率是芯片制造中的重要指标。如果说先进制程代表晶圆厂技术的领先性,那么产品良率就代表着其产品的可靠性和经济性。在制造成本固定的情况下,良率越高单颗芯片成本越低。
电子束量检测是半导体量检测领域的主要技术类型之一,在半导体制程不断微缩,光学检测对先进工艺图像识别的灵敏度逐渐减弱的情况下,发挥着越来越重要的作用。电子束量检测设备对于检测的精度、可适用性、稳定性、吞吐量等要求很高,其研发和设计非常具有技术挑战性。
年度国际EDA领域专业会议ISEDA 2024于5月10日-13日在西安隆重召开。
东方晶源荣获2023年经开区PCT国际专利申请量TOP10企业。